近日，工业和信息化部办公厅公示2025年精细化工关键产品创新任务揭榜挂帅入围单位，江苏久膜高科技股份有限公司联合国家高性能膜材料创新中心、南京工业大学、江苏雅克科技股份有限公司成功揭榜了“超净高纯试剂生产用关键纯化设备、分离材料”攻关项目。

      半导体超净高纯试剂是芯片制造光刻、蚀刻、清洗等核心工艺的“血液”，其金属离子、颗粒物纯度直接决定芯片良率与最终性能。长期以来，超净高纯试剂生成用的材料、工艺和成套装备被美、德、日等国企业垄断，技术壁垒高，国内产业深陷“卡脖子”困局，G4及以上的高端超净高纯试剂纯化能力严重不足，成为制约我国集成电路产业自主发展的关键瓶颈。

      针对这一难题，本攻关项目聚焦半导体制造领域中有机类超净高纯试剂（比如醇类、酮类、酯类等）的高端需求，以氟化改性膜材料为核心，通过分子设计、界面改性与微结构调控，成功开发出在全有机溶剂环境下，可截留微纳米颗粒、去除ppt痕量级金属离子高性能特种膜材料（去金属离子膜），同时攻克了膜材料的全溶剂耐受性与长期服役稳定性难题，创新设计并制备出高通量折叠型渗透汽化膜组件；首创基于去金属离子膜多级膜耦合纯化新路径，弯道避开国外纯化路线，可高效截留30余种金属离子，单级膜金属离子的去除率＞99.95%；纯化后产品（比如甲醇、乙醇、异丙醇、丙二醇甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯、乳酸乙酯等）达到SEMI G5等级。

      本攻关项目前期在超纯试剂纯化方向已经布局相关专利27件，其中获得授权专利16件（1件美国专利，8件发明专利，7件实用新型专利），覆盖膜材料、膜组件、纯化工艺及装置等全流程。项目整体形成了从基础研究（南工大） → 核心技术产品开发与生产（久膜高科） → 工艺装备实现（国家创新中心） → 终端应用验证与推广（雅克科技等） 的完整闭环。

      本项目的意义在于通过“材料-工艺-装备”三位一体系统研发，构建起自主可控的“超高纯有机化学品多级膜耦合纯化技术”，避开了国外技术路径壁垒和专利保护，为全球电子材料行业提供低成本、绿色化的高纯度有机溶剂解决方案，适配国际先进制程标准；其次形成超高纯有机化学品纯化技术的“中国解决方案”，提升我国在电子材料领域的技术话语权，保障超高纯有机化学品供应链安全，助力实现科技自立自强！